连续两大晶圆厂弃7纳米ASML:仍对中国订单信心满满
2018-09-17   DIGITIMES

随着“国产芯”的大热,半导体领域逐渐揭开其神秘面纱出现在大众眼前。作为半导体芯片生产过程中最重要的一环,光刻技术也备受关注。然而国内半导体技术的发展却面临着窘境——高端光学与供电技术的瓶颈与关键零部件的限制。


目前市场上占据光刻机8 成市占率的荷兰设备商阿斯麦 (ASML) 中国区总裁沈波一上任,就参加中国集成电路制造年会(CICD),接受DIGITIMES等媒体专访,而DIGITIMES也是少数专访过ASML前、后任中国区总裁的专业媒体。相较前任的韩裔总座,换上中国背景的沈波上任,更代表ASML深耕本地市场的决心。



沈波:最先进的光刻机将进入中国

在光刻机领域,ASML公司几乎垄断了全球高端光刻机市场,在EUV光刻机中更是独树一帜。尽管联电与格芯先后宣布放弃进军7nm制程,不再紧追摩尔定律,但是这家光刻巨头对于未来中国市场客户7nm光刻订单仍信心满满。


此前有消息称受瓦森纳协定的影响,ASML的光刻机受管制不能出售给中国。沈波表示,这是对ASML的误解,“ASML的光刻机一直都有在国内销售,2018年下半年ASML已开始出货最先进的浸润式光刻机NXT:2000i,这台ASML最先进的设备也将很快在中国市场看到。”


近年来随着国内半导体市场的扩大,中国市场逐渐成为ASML的“大客户”,据ASML 2018年Q1、Q2财报显示,一季度大陆地国内的光刻机销售占比20%,二季度中占比19%,与美国市场持平,超过中国台湾地区。


据悉,在先进光刻机方面,中芯国际2018年已订购了一台EUV光刻机,预计2019年初交付,主要用于7纳米工艺技术研发;在DUV光刻机方面,长江存储以及上海华虹半导体也分别订购了ASML 193纳米浸没式光刻机和193纳米双极沉浸式光刻机NXT:1980Di,分别用于存储芯片、晶圆代工等制造。


沈波表示,ASML正在全力增加产能,预计2018年EUV产能为20台,2019年有望提升到30台,2020年产能可达40台。


深耕中国,ASML培养本地人才

集成电路不仅是技术集中产业,同时也是人才集中产业。中国半导体行业协会常务副理事长兼秘书长卢山认为,中国的电子信息产业缺少相关领域的人才,随着集成电路产业的快速发展,人才的短板成为回避不了的问题。


据日前新出炉的一份《中国集成电路产业人才白皮书(2017-2018)》(以下简称人才白皮书)显示,截止到2017年年底,我国集成电路行业从业人员规模在40万人左右;到2020年前后,我国集成电路行业人才需求规模约为72万人左右,人才缺口将达到32万人。


《人才白皮书》指出,我国集成电路产业人才需求增速较快。在2017年到2018年上半年期间,IC制造业受产能扩张影响,人才需求保持高速增长,由于近几年国内生产线布局进入快车道,制造业企业特别是传统老牌制造业企业人才流失严重。同时,国内制造业企业对于人才争夺的恶意竞争现象较普遍,应引起高度重视。中国半导体行业协会理事长周子学也曾表示,人才是发展集成电路产业的重中之重。


“ASML致力于为中国光刻行业培养更多的人才,为未来将进入集成电路行业的大学生输送知识。”沈波表示,ASML注重国内整体半导体人才的培养,以及科普教育的推广。


近年来,ASML在国内高校举办科技讲座、赞助高校IC设计竞赛,并赞助上海「未来工程师大赛」,沈波表示,希望通过一系列的活动,让国内学子了解IC 行业并进入IC 行业,从而推动行业持续发展。


此外,沈波也表示ASML 已深耕中国市场18年,并将持续引进光刻技术、拓展布建客户服务网络、强化与国内研发单位合作。2018年 3 月,ASML 与上海集成电路研发中心(ICRD)合作,在上海成立第一个培训中心,协助行业培训高端工程人才。


目前ASML 在深圳和北京设有上百人的研发中心,负责计算光刻和量测设备关键模组的研发。


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